「ナノテクノロジー」のさらなる進化をうながす
SPMとはどんな装置なのか
SPMは鋭く尖った探針とサンプル表面に働く物質量を検出して、サンプル表面の形状やその物理量の面分布を測定する顕微鏡の総称です。走査型トンネル顕微鏡(STM/探針とサンプル間に流れる微小な「トンネル電流」を利用して表面形状を観察)、原子間力顕微鏡(AFM/探針とサンプル間に生じる微小な「原子間力」を利用して表面形状を観察)、などが代表的なSPMとなりますが、その進化はナノテクノロジーと歩調を合わせるように高度化の一途をたどっています。大きな特長としては 1.三次元形状と物性の同時高倍率観察 2.溶液中・真空中・大気中・低温・高温・加湿・電場・磁場など、さまざまな環境下での測定が可能 3.加工ができる 4.コンパクトで比較的低価格 などをあげることができます。 SIIは世界的なレベルを誇る精密機械加工技術をベースに一九八五年から電子技術総合研究所への技術協力というかたちでSTMの研究・開発に着手して以来、四年後の一九八九年にはSTMの商品化(SAM 3000)に成功。その後も各種のフレーム機種(一七機種)および周辺機器の開発と市場へのリリースを展開してきました。
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